如何實現(xiàn)光學(xué)平臺的隔振？

光學(xué)平臺廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工、無損檢測、機(jī)械工業(yè)中的精密測試儀器及設(shè)備振動隔離。它的動態(tài)力學(xué)性能直接影響試驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。其微振動特性直接影響精密儀器的測量精度。由于精密隔振要求的提高，光學(xué)平臺的振動隔離技術(shù)需要進(jìn)一步改進(jìn)。

在進(jìn)行隔振系統(tǒng)設(shè)計時，需要考慮的干擾因素比較復(fù)雜，主要有：大型建筑物本身的搖擺、地面或地面的振動、電器設(shè)備的振動、各種機(jī)械的振動、聲音引起的振動、外部道路交通的振動，甚至人類行走引起的振動。

分光計的選擇對提高實驗精度有重要意義。光平臺的隔振一般可以通過三種方式來實現(xiàn)：

隔振器：一般氣浮式隔振支架的性能一般好于阻尼隔振支架，有些性能優(yōu)良的隔振支架可達(dá)到一到兩個數(shù)量級(一般在10~200赫茲)。

臺式機(jī)質(zhì)：要求臺面有一定剛度，且重量輕(硬重比)，使臺面能有效地減少共振時的振幅，本文稍后將介紹。

臺面內(nèi)部結(jié)構(gòu)：臺面內(nèi)部結(jié)構(gòu)不但可減小支架，而且可減少或消除桌面沖擊及相對運動產(chǎn)生的振動。

優(yōu)質(zhì)的光學(xué)平臺不僅要有高精度的機(jī)械加工，還要有高科技精度的檢測手段和儀器，高質(zhì)量的光學(xué)平臺才能保證光學(xué)實驗的高精度和科研的正常進(jìn)行。

STACISIII為柔性主動隔振系統(tǒng)。采用先進(jìn)的慣性振動傳感器、控制算法和壓電驅(qū)動器，通過連續(xù)測量地面運動，再濾縮地面運動，實現(xiàn)實時消振。本系統(tǒng)包括改進(jìn)版的DC-2020數(shù)字控制器。新一代雙核處理器、以太網(wǎng)和USB串行接口，為用戶提供現(xiàn)代、易用的圖形用戶界面(GUI)，是一種全新的控制系統(tǒng)。精微光刻、測量和檢測設(shè)備，是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠(包括但不限于：半導(dǎo)體工廠、故障分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心)。